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低溫等離子工業廢氣除臭裝置處理原理為：在外加電場的作用下，介質放電產生的大量攜能電子轟擊污染物分子，使其電離、解離和激發，然后便引發了一系列復雜的物理、化學反應，使復雜大分子污染物轉變為簡單小分子形式的安全物質，或使有毒有害物質轉變成無毒無害或低毒低害的物質，從而使污染物得以降解去除。因其電離后產生的電子平均能量在10ev ，適當控制反應條件可以實現一般情況下難以實現或速度很慢的化學反應變得十分快速。在強大電場能量轟擊下污染氣體分子化學鍵被打斷，轉化為無污染的小分子。電離后的氣體分子顆粒，分子團，可以通過等離子管壁吸附下來，成液體狀從設備排泄口流出。氧分子電離后重新結合成高濃臭氧，有機氣體在臭氧的強氧化作用下，生成二氧化碳、水等小分子無污染成份。
低溫等離子工業廢氣除臭裝置性能特點：
1、高科技創新產品：是依靠等離子體在瞬間產生的強大電場能量電離、 裂解有害氣體的化學鍵能，從而破壞廢氣分子結構，達到凈化目的。
2、廢氣凈化：本設備能處理揮發性有機物(VOC)、無機物、硫化氫、氨氣、硫醇類等主要污染物，以及各種惡臭味，除臭效率高。
3、無需添加任何物質：低溫等離子體廢氣處理是一種干法凈化過程，是一種全新的凈化過程，運行過程無需添加任何添加劑，不產生廢水、廢渣，不會導致二次污染。
4、適應性強：持久的凈化功能，無須專人看管。可適應高濃度、大氣量、不同氣態物質的凈化處理，特別是在潮濕,甚至空氣濕度飽和的環境下仍可正常運行。
5、低耗節能：運行費用低廉,本設備無任何機械動作，自動化程度高,工藝簡潔,隨用隨開操作簡單方便.無需專人管理和日常維護，遇故障自動停機報警，只需作定期檢查。
6、設備組合性強：“低溫等離子體”設備重量輕，體積小，可按場地要求立放、臥放，可根據廢氣濃度、流量、成份進行串、并組合設計達到廢氣凈化。
7、設備使用壽命長：由不銹鋼材，銅材、鉬材、環氧樹脂等材料組成，對酸、堿氣體、潮濕環境等具有良好的防腐性能。
8、安全：“低溫等離子體”設備內使用電壓在36伏以下，安全可靠。